国産露光機

英国『フィナンシャル・タイムズ』は、ファーウェイが国産露光機のサプライチェーンにさらに深く関与していると報じており、関連する設備や部品会社への投資だけでなく、サプライヤー、ウェハ工場、完成品メーカーの調整も行い、国産DUVを実際の生産ラインに導入することを推進しています。バーンスタインのアナリストは、ファーウェイを中国のDUVプロジェクトの「プロジェクトマネージャー」と表現しています。最も進展が早いのは上海宇量昇です。同社は国産の先進DUVの開発に参加しており、設備は中芯国際などのウェハ工場やファーウェイ自身の生産ラインでテストされており、今年の年末までに12台の生産を計画しています。現段階では主に比較的簡単なチップを製造しており、最終的な目標は先進的なAIチップの製造に使用することです。国産DUVは現在、海外のサプライチェーンから完全には脱却していません。宇量昇が使用している投影レンズは依然としてドイツのツァイスからのものであり、高出力光源も主要なボトルネックです。ファーウェイは期光子、科益虹源などの会社に投資しており、それぞれ国産のレンズと光源を補完しています。

『The Information』の報道によると、ある未公開の名称の上海国有資本背景の会社が国産浸漬式DUV露光機の生産を開始し、今年約5台を製造する計画で、2027年には約20台に増加する予定です。最初の設備は中芯国際、華虹半導体、長鑫科技などの主要なウェハファウンドリに納入されますが、設備は精度、安定性、及び生産ラインの互換性の検証を経る必要があり、このプロセスは数ヶ月、あるいはそれ以上かかる可能性があります。現在、この設備の大部分の部品は国内から調達されていますが、一部の重要な部品は依然として日本に依存しており、性能と製造品質はASMLに劣っています。対照的に、ASMLは2025年に約131台の浸漬式DUV露光機を納入する予定です。国産設備はプロトタイプテストから小規模生産への移行を実現しましたが、ASMLの大規模な代替にはまだ明らかな差があります。以前、ロイター通信はアメリカが中国への露光設備の輸出及び中国でのメンテナンスサービスの制限をさらに強化することを検討していると報じており、今回の国産設備の納入はこの背景と重なっています。