分析：中国或已囤积343台浸没式深紫外光刻机

ChainCatcher 消息，据《南华早报》报道，前美国官员称，中国半导体工厂近年囤积数百台、价值数十亿美元的浸没式光刻机，并敦促华盛顿及其盟友停止进一步出口。2026 年 8 月成立的 Centre for Technology & Statecraft 于 9 月下旬发布报告，估计截至 2026 年初中国晶圆厂已获得约 343 台浸没式深紫外光刻系统。报告由前美国出口管制官员 Nicholas Brown 与前白宫及商务部技术政策顾问 Saif Khan 共同撰写。

报告估计其中约 270 台为阿斯麦 Twinscan NXT:1980i。作者称，这些设备虽落后于极紫外光刻机，但可改造用于制造 7 纳米级逻辑芯片及人工智能处理器（包括华为昇腾系列）所需的先进存储器。中国晶圆厂 2024 年花费逾 130 亿美元购入约 90 台 NXT:1980i，2025 年又购入 89 台。阿斯麦披露，按出货目的地计，中国占其净系统销售额比例 2024 年为 41%、2025 年为 33%，2026 年第一季度降至 19%、第二季度降至 14%。

荷兰自 2023 年 9 月起对 NXT:2000i 及更先进浸没式深紫外设备要求出口许可，这些型号此后实际上被禁止运往中国；一年后许可要求扩展至 NXT:1980i，但该型号仍可个案批准出货。