국산 침수식 DUV 노광기가 소량 생산을 시작했으며, 올해 약 5대를 납품할 계획입니다

《The Information》에 따르면, 익명의 소식통이 전한 바에 따르면, 상하이에 본사를 둔 국유 자본 배경의 한 회사가 국산 침수형 DUV 광刻기를 생산하기 시작했으며, 올해 약 5 대를 제조할 계획이고, 2027년까지 약 20 대로 늘릴 예정입니다. 첫 번째 장비는 중芯 국제, 화홍 반도체, 장신 과학기술 등 주요 웨이퍼 공장에 납품될 예정이지만, 장비는 여전히 정밀도, 안정성 및 생산 라인 호환성 검증을 거쳐야 하며, 이 과정은 몇 개월 또는 그 이상 걸릴 수 있습니다.

현재 이 장비의 대부분 부품은 국내에서 조달되지만, 일부 핵심 부품은 여전히 일본에 의존하고 있으며, 성능과 제조 품질은 ASML에 비해 뒤처져 있습니다. 비교하자면, ASML은 2025년에 약 131 대의 침수형 DUV 광刻기를 납품할 예정입니다. 국산 장비는 이미 프로토타입 테스트에서 소량 생산으로의 전환을 이루었지만, ASML을 대규모로 대체하기에는 여전히 큰 차이가 있습니다. 이전에 로이터 통신은 미국이 중국에 대한 광刻기 수출 및 중국 내 유지보수 서비스 제한을 더욱 강화하는 방안을 고려하고 있다고 보도했으며, 이번 국산 장비의 납품은 이러한 배경과 맞물려 있습니다.